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POSIFA真空传感器
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POSIFA真空计是基于POSIFA的第二代MEMS热导率芯片设计而成。芯片由精微加工工艺制作而成,具有优异的精确度和一致性。这颗芯片可以测量热导,其上印刷有集成的测温电路,具有良好的灵敏度和重复性。由于工作温度很低,所以相比于灯丝原理的皮拉尼规,PVC6800 系列更能耐受污染物。PVC6800 系列的一个重要特点就是增加压力传感器,确保从 1.5 到 0.1 大气压具有高精度。
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